HRTEM-Untersuchungen epitaktischer Filme auf α-Al₂O₃-Facetten
Leonore Wiehl (Univ. Mainz, FB 18)

Abstract:

α-Al₂O₃ (Korund) bildet auf einigen seiner Flächen durch Tempern oberhalb von 1500°C Facetten erheblicher Größe aus (Höhen bis 50 nm), die für epitaktisches Filmwachstum eine besondere Herausforderung darstellen, auch auch Chancen neuer Strukturierungsmöglichkeien eröffnen. Die kristallographische Orientierung der Facettenflächen war bisher nicht gesichert, da die vorhandenen Literaturangaben unvollständig und inkonsistent sind. Durch hochauflösende Transmissionselektronenmikroskopie, kombiniert mit Fast Fourier Transformation und Imagesimulation, konnten die Facetten und ihre epitaktische Beziehung zum aufgewachsenen Mo-Film jetzt eindeutig charakterisiert werden.

Bei der Beschreibung der Bilder und ihrer Interpretation soll das Methodische ihrer Herstellung am TEM mit seinen Möglichkeiten nicht zu kurz kommen.